多晶硅坩埚烧结炉
 

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   多晶硅坩埚烧结炉详细介绍
多晶硅坩埚烧结炉是一种热工设备,它主要采用电阻丝加热,耐火材料隔热、保温。其工作方式为间歇式作业,要求升温快、保温时间长,一般一个工作周期为24h,为常压常态工作模式。由于太阳能电池产业的发展,硅片需求呈爆炸式的发增长,对于坩埚烧结炉的产能也提出了更高的要求,本设备就是满足产能要求而开发的,一次可烧结6个坩埚,它比以前的设备更节能,更实用。本文主要介绍了其设计过程。
 
1、多晶硅坩埚烧结炉炉体内空尺寸的确定
工件及坩埚尺寸为:890mm*890mm*420mm,侧面壁厚15mm,纸板厚20mm,高度方向一端敞口,材料为石英陶瓷,单个坩埚质量约为100kg。
坩埚侧立成直线置于载锅小车上,一次摆放6个坩埚,坩埚间隙50mm,炉体前门可打开,小车从前面推入加热炉体内。炉丝穿绕在瓷管上挂载炉体侧壁上,炉丝与工件间留出适当距离,据此可计算出炉体内膛尺寸为:3500mm*1250mm*1320mm。
2、多晶硅坩埚烧结炉总体设计
  本设备有加热炉体、加热炉丝、前门、载锅小车、送风系统、抽风系统、电控系统几大部分组成。设备采用钢性框架内砌隔热保温砖的方式;为便于工件的卸装,采用小车输运,即工件摆放在小车上,小车推入加热炉体内;加热采用四周和底面加热,保证炉体内的热均匀性;由于炉体较长,内空尺寸较大,炉体顶部采用拱顶方式;根据工艺需求,设备有通风机送分和抽风;加热采用分组控制三组380v供电,精密温度控制器控温,保证温度稳定性;整体采用PLC控制,编程操作,可根据需要编制和存储多条工艺曲线,工作时选定工艺序号后,设备将自动完成坩埚烧结全过程。
 
多晶硅坩埚烧结炉特点:多层保温结构;侧面炉壳和炉门采用双层隔热结构,外壳温度低,绝热性好。
加热方式:加热元件合理布置于炉膛两侧、后墙、炉门、台车工作面底部,共5面加热提高炉温均匀性。
加热元件:优质合金丝制作成螺旋状或波纹状,缠绕在陶瓷管或瓷钉组上,有效保证其热辐射性和寿命。
台车工作面上铺设碳化硅炉板,保护底部加热元件。
台车采用一体化路轨或无轨式(根据用户要求)。         
炉膛两侧配置冷却风机,顶部开排气通道,有效地提高冷却速度。
温差:炉膛内部温差在5℃ 以内。
控温精度:±1℃

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